点击次数：139次 更新时间：2017-02-28 15:16:56
基于MEMS工艺的热式质量流量技术；
重复性、复现性、稳定性强；
气体控制精度高，可快速响应；
大于1000:1的动态量程比；
在很大的测量范围内，也能保持良好的线性度；
结构紧凑，帮您实现新的功能的同时减小系统尺寸和重量；
模块化设计，为OEM客户量身定制。
超紧凑的外形尺寸
快速的稳定时间< 150 ms
极佳的重复性和精度
坚固的设计
高量程比< 1000:1
极佳的长期稳定性
| 参数 | 单位 | 典型值 |
| 流量范围 | sccm | 0-15,000 |
| 外形尺寸 | mm | 50×52×22（质量流量控制器OEM模块） |
| 流量精度 | ±0.2 % F.S./±1 % O.R. 取较大值 | |
| Repeatability | ±0.015 % F.S./±0.15 % O.R. 取较大值 | |
| Resolution | % F.S. | 0.1 |
| Remarks | 如您需要更为详细的资料，敬请查阅产品相关的技术规格书 | |
Axetris质量流量技术被用于众多行业，广泛应用于气相色谱、泄露检测、热分析、质谱、镀膜技术、等离子技术以及其他众多的领域。
■ 分析仪器
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| 质谱分析 | 原子光谱分析 | |
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| 热值分析 | 生物反应器和发酵设备 |
■ 工业领域
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| 薄膜镀层控制 | CO2激光切割 |
■ 医疗领域
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| 氧气混合设备 | 通风装置及呼吸设备控制 |
