各种医疗设备，诸如呼吸机，呼吸分析设备和麻醉监测都需要一个快速和准确的气体流量测量。除了医院的应用，家庭医疗保健产品对气体流量的控制需求也越来越多，例如持续气道正压通气（CPAP）机。

Axetris 公司的质量流量计和控制器能提供多种气体，如氧气，空气，氦气和二氧化碳。基于MEMS技术设计的质量流量产品有很多技术优势，如快速的响应时间和高精度的测量。