点击次数：374次 更新时间：2017-03-16 11:09:43
基于MEMS工艺的热式质量流量技术；
重复性、复现性、稳定性强；
气体控制精度高，可快速响应；
大于1000:1的动态量程比；
在很大的测量范围内，也能保持良好的线性度；
结构紧凑，帮您实现新的功能的同时减小系统尺寸和重量；
模块化设计，为OEM客户量身定制。
Axetris是一家提供高效能质量流量解决方案的OEM供应商，能满足您所有需求！请与我们联系探讨您的技术要求–我们的工程团队将帮助您设计出既优化复杂性又节约成本的解决方案，同时保持高效能标准，而保持高标准一直是Axetris质量流量产品系列的追求。
产品特性：
· 基于MEMS工艺的热式质量流量技术；
· 重复性、复现性、稳定性强；
· 气体控制精度高，可快速响应；
· 大于1000:1的动态量程比；
· 在很大的测量范围内，也能保持良好的线性度；
· 结构紧凑，帮您实现新的功能的同时减小系统尺寸和重量；
· 模块化设计，为OEM客户量身定制。
Axetris拥有完整的，经验丰富的流体动力学工程师团队，先进的仿真模拟装备，以及先进的测试和检测实验室，为客户提供全方位解决方案、技术支持和系统整合。为OEM客户需求量身定制特定条件应用的质量流量产品：真实气体校准，一系列可配置选项，可选数字滤波参数，可选电气和机械接口。
标®准产品系列：需完整产品目录，请联系Axetris !
每个Axetris MFM/MFC2000产品都提供全量程的标定和温度补偿，标定遵从NIST溯源。
广泛的气体种类和量程范围：
MFM/MFC2000产品可以适用非常广泛的多种非腐蚀气体，气体量程可以从小于20sccm到20000sccm(标准立方厘米每分钟)。通过旁路设计，还可获得更大的量程范围。
标准型产品:
MFM 21x0: 标准型质量流量计，是MFM2020加装电气保护外壳的扩展产品。
标准型质量流量计，是MFM2020加装电气保护外壳的扩展产品。
MFM 2120: RS232/ 0…5 Volt, MFM 2130: RS232/ 4…20 mA,MFM 2140: RS485.
MFC 21x2: 标准型质量流量控制器，集成了快速反应的调节阀。相较于传统的质量流量控制器，具有更小的体积，更高的精度，更短的整定时间，以及多量程，多种气体的控制能力。
如下为不同型号所支持的数字/模拟接口选项：
MFC 2122: RS232/ 0…5 Volt, MFC 2132: RS 232/ 4…20 mA,
MFC 2142: RS485, MFC 2162: PROFINET®
用于系统集成的OEM模块：
MFM 2020: 带有数字交互界面和0-5V模拟输出的紧凑型质量流量计。它的小巧的尺寸让其成为受限于空间限制的产品设计的理想选择。此外它也是用来建立定制化和多种气体通道测量的理想模块。
MFM 2021: 此先进的气体质量流量计附带有高精密PID控制，配备模拟信号输出，使其对气体流量进行直接、高速和精准得到测量成为可能。
MFC 2022: 带有快速反应调节阀和具有驱动电路的紧凑型质量流量控制器。它是高度紧凑型气体控制系统的理想选择。
| 参数 | 单位 | 典型值 |
| 流量范围 | sccm | up to 15,000 per channel |
| 目标气体 | N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2 | |
| Gas Flow Channels | Up to 4 | |
| Channel Type | Controller or Meter | |
| Configuration | Mixer or Splitter | |
| 流量精度 | Axetris standard | |
| 稳定时间 | ms | < 150 |
| 供电电压 | V | 24 |
| 数字量输入输出 | RS-485 全双工 | |
| Electronic Interface | Common Electronic Interface Board with D-Sub 9 Connector (Optional) | |
| Mechanical Interface | Thread 1/8” ISO, Optional Fittings | |
Axetris质量流量技术被用于众多行业，广泛应用于气相色谱、泄露检测、热分析、质谱、镀膜技术、等离子技术以及其他众多的领域。
■ 分析仪器
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| 质谱分析 | 原子光谱分析 | |
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| 热值分析 | 生物反应器和发酵设备 |
■ 工业领域
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| 薄膜镀层控制 | CO2激光切割 |
■ 医疗领域
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| 氧气混合设备 | 通风装置及呼吸设备控制 |
