点击次数：448次 更新时间：2017-03-16 11:03:58
基于MEMS工艺的热式质量流量技术；
重复性、复现性、稳定性强；
气体控制精度高，可快速响应；
大于1000:1的动态量程比；
在很大的测量范围内，也能保持良好的线性度；
结构紧凑，帮您实现新的功能的同时减小系统尺寸和重量；
模块化设计，为OEM客户量身定制。
紧凑的质量流量控制器配有RS-485通讯接口，基于Axetris专利的铂金MEMS技术(MEMS:微电子机械系统）它提供了以下的优势。
·超紧凑的外形尺寸
·快速的稳定时间<150 ms
·极佳的重复性和精度
·坚固的设计
·高量程比<1000:1
·极佳的长期稳定性
它被推荐用于独立的应用和集成在工业，分析和医疗系统上的应用。
| 参数 | 单位 | 典型值 |
| 流量范围 | sccm | 20,50,100,250,1000,3000 |
| 目标气体 | N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2 | |
| 流量精度0-10% | % F.S | 0.2（250sccm,N2,4bara） |
| 流量精度10-100% | % O.R | 1（250sccm,N2,4bara） |
| 稳定时间 | ms | < 150 |
| 供电电压 | V | 24 |
| 模拟量输入 | V | 0…5 |
| 模拟量输出 | V | 0…5 |
| 数字量输入输出 | RS-232 TTL | |
Axetris质量流量技术被用于众多行业，广泛应用于气相色谱、泄露检测、热分析、质谱、镀膜技术、等离子技术以及其他众多的领域。
■ 分析仪器
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| 质谱分析 | 原子光谱分析 | |
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| 热值分析 | 生物反应器和发酵设备 |
■ 工业领域
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| 薄膜镀层控制 | CO2激光切割 |
■ 医疗领域
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| 氧气混合设备 | 通风装置及呼吸设备控制 |
